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电子制造业生产工艺过程均需使用极其纯浄的超纯水

[导读]集成电路、先进半导体材料、柔性显示器件等电子制造业生产工艺过程均需使用极其纯浄的超纯水。其应用范围非常广泛,包括显示器件、生产半导体、光伏太阳能、集成电路芯片及封装、高精度线路板、光电器件、各种电子器件等电子工业用大规模超纯水系统

依据电子产品制程水平和精密度要求的不同,对纯水水质和水量的需求也不尽相同,电子级水质分为五级:18,15,10,2,0.5M9-cm,超纯水是指电阻率在18.2MQ2cm以上的纯水。目前国内的超纯水制备行业正处于快速发展阶段,但是相比国外的发展水平仍有很大的差距。随着国内半导体生产线的普及,超纯水制备设备的需求越来越大,目前国内的半导体制造厂商主要依赖国外的超纯水制备设备及其管理系统。因此,对于超纯水远程运维还有待自主研发




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